一种生产半导体用镀膜装置
产权类型:专利技术
所属人:***有限公司
联系方式: 请登录后查看!
发布日期:2023.05.10
产权描述

本实用新型公开了一种生产半导体用镀膜装置,包括镀膜箱,所述镀膜箱的内部设置有辅助机构,所述镀膜箱的一侧设置有镀膜机构,所述辅助机构的一侧设置有搅拌机构,所述镀膜箱的内底部设置有支撑机构,所述辅助机构包括两个旋转轴,所述旋转轴转动连接在所述镀膜箱的两内壁,两个所述旋转轴伸入所述镀膜箱内部的一端固定连接有电动推杆,所述电动推杆的另一端固定连接有夹紧块。有益效果在于:设置了辅助机构,辅助机构包括旋转轴,通过旋转轴驱动半导体的转动,使镀膜更加均匀;辅助机构包括电动推杆,通过电动推杆使夹紧块将半导体夹紧,保证旋转过程的稳定性;设置了搅拌机构,通过搅拌机构对涂覆液进行搅拌,使其成分均匀,保证镀膜质量。


热门交易