本发明公开了一种微角度驱动装置的制备 方法，包括提供一具有开口结构的衬底，在所述 开口上方形成具有悬空结构的双抛双氧硅片、粘 结层、下电极、压电层、Ti/Pt上电极叠层，经图案 化后形成异形结构。针对现有技术中通常采用矩 形的压电器件，通过压电器件的伸缩实现位移驱 动，但是其驱动效率和位移范围有待提高的问 题，本发明提供了一种微角度驱动装置的制备方 法，实现了较高的驱动效率和较大的驱动位移。
