一种异性堆叠石墨烯的制备方法
产权类型:专利技术
所属人:***有限公司
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发布日期:2024.03.18
产权描述

本发明公开了一种异性堆叠石墨烯的制备 方法,包括如下步骤:准备绝缘或半导体的衬底; 在衬底的表面制备层状分布的镍层和掺杂碳源 层,并且使得镍层和掺杂碳源层直接接触;对掺 杂碳源层进行加热,使得碳融入到镍层中,然后 进行降温,使得镍层的一侧生长掺杂石墨烯,另 一侧生长纯石墨烯;退火蒸发镍层,使得掺杂石 墨烯和纯石墨烯呈层状分布且相互接触。在绝缘 或半导体的衬底上生长层状的掺杂石墨烯和纯 石墨烯,避免了后续的转移步骤,也就避免了损 坏掺杂石墨烯和纯石墨烯。

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