一种测量透明物体的旋转式相移干涉仪及测量方法
产权类型:专利技术
所属人:***有限公司
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发布日期:2024.04.16
产权描述

本发明公开了一种测量透明物体的旋转式 相移干涉仪及测量方法,干涉仪包括激光发射 器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、 镜面旋转器和CCD相机,所述激光发射器、准直 镜、分光器、被测物分布与同一轴线上,所述参考 镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测,所 述镜面旋转器位于被测物底部;本发明使用了最 小二乘迭代的算法,将其引入到被侧面可以旋转 的干涉仪中,不仅在相对小的空间可以计算出被 测表面的面形,并且此算法使得被测物体的面形 更加精确。

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