本发明涉及一种自准直仪及其使用方法，自 准直仪包括光源、分束镜、准直透镜、CCD接收器 以及双反射镜单元，光源发出的光束依次穿过分 束镜和准直透镜，经双反射镜单元反射后成为测 试入射光路入射到待测面；双反射镜单元包括两 个平面反射镜，两个平面反射镜分别可沿各自的 回转轴独立转动，两个平面反射镜的回转轴位于 同一平面上（夹角可选45°）以便反射传递光束， 平面反射镜与其回转轴呈斜交且所成的角按需 设置以可通过转动改变测试入射光路的角度并 使其以法线入射的形式入射到待测面，待测面的 反射光路沿测试入射光路返回，在CCD接收器上 形成光斑；待测面的偏移量通过两个平面反射镜 的转动量获取。本发明可良好地减少系统误差的 引入，提高测量精度。
