一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备
产权类型:专利技术
所属人:****有限责任公司
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发布日期:2025.07.02
产权描述

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,提供一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备,包括机体、密封门和真空泵,所述机体的内部设置有镀膜腔,所述机体的一侧安装有密封门,所述密封门的顶部设置有观察窗。本实用新型通过设置有定位结构,将定位板从镀膜腔的内部取出,将基片放置在定位板一侧电动推杆之间的位置,同时启动四组电动推杆,电动推杆相互挤压将基片卡接固定在定位板一侧的中间位置处,然后将定位板移至镀膜腔的内部,使定位板的两端在定位座的内部滑动,当定位板的一侧与机体的内壁相抵触不再移动,此时基片位于蒸发槽的正上方,实现了该装置便于对喷涂位置定位的功能,从而提高了该真空镀膜设备在使用时的便捷性。


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